| 发明名称 | 具有双致动器和共栅极的MEMS微型开关 | ||
| 摘要 | 本发明涉及具有双致动器和共栅极的MEMS微型开关。根据本发明的一个方面，提供了一种MEMS开关(10，30，40)。MEMS开关(10，30，40)包括：衬底(12)，电耦接在一起的第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)，与衬底(12)机械耦接并且支撑第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)中的至少一个的固定器(18)，以及被配置来使得第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)致动的栅极驱动器(6)。 | ||
| 申请公布号 | CN101465243B | 申请公布日期 | 2015.02.04 |
| 申请号 | CN200810188423.5 | 申请日期 | 2008.12.22 |
| 申请人 | 通用电气公司 | 发明人 | C·F·凯梅尔;X·王;M·F·艾米;K·苏布拉马尼安 |
| 分类号 | H01H59/00(2006.01)I | 主分类号 | H01H59/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 张雪梅;刘春元 |
| 主权项 | 一种MEMS开关(10，30，40)，包括：衬底(12)；串联地电连接在一起的第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)；其中，所述第一致动元件和第二致动元件能够被独立地致动并集成地形成为可移动致动器的相对端，并且其中在致动期间所述第一致动元件和第二致动元件可以同时被吸引朝向所述衬底；固定器(18)，与衬底(12)机械耦接并且直接支撑第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)中的至少一个，其中所述第一致动元件和第二致动元件耦接到所述固定器；以及栅极驱动器(6)，被配置来使得第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)致动。 | ||
| 地址 | 美国纽约州 | ||