发明名称 挠曲装置
摘要
申请公布号 TWM495001 申请公布日期 2015.02.01
申请号 TW103215498 申请日期 2014.08.29
申请人 纬莹企业有限公司 发明人 李锦泉
分类号 H01L21/67;C03B23/00 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人 王清煌 台北市信义区基隆路1段420号12楼之4
主权项 一种挠曲装置,主要系由一作动模组与一供电控制模组所组成,其中,该作动模组系包括:二个横轴驱动单元,系相互平行设置,且每一个横轴驱动单元系包括有一第二传动轴与设置于该第二传动轴上之复数个真空吸盘元件;一纵轴驱动单元,系正交设置于该二个横轴驱动单元之下,且包括有一第三传动轴,并且,透过该第三传动轴之转动系可调整该二个第二传动轴之间的距离;以及一竖轴驱动单元,系包括有与一曲面板,且该曲面板系设置于该二个第二传动轴之间;其中,透过该供电控制模组系可同时控制该二个横轴驱动单元、该纵轴驱动单元以及该竖轴驱动单元,使得该二个第二传动轴相对应地向外侧翻转,且该第三传动轴控制该二个第二传动轴互相靠近,而该曲面板向上抬升,如此方式,可对设置于该复数个真空吸盘元件上之一待加工物件进行一曲面成形作业。
地址 新北市土城区忠承路29巷10号