| 主权项 |
一种微机械系统(1)(2)(3)(4)(5)，包含--一基材(100)；--一悬架(130)(1301)(1302)(1303)；--一基础(140)，其中该悬架(130)(1301)(1302)(1303)以可动的方式将基础(140)承载在基材(100)上方；及--一微机械感测器(150)(151)(152)，其中该微机械感测器(150)(151)(152)设在该基础(140)上，其中一第一犠牲层(111)设在该基材(100)上、一第一功能层(121)设在该第一犠牲层(111)上，一第二犠牲层(112)设在该第一功能层(121)上，且一第二功能层(122)设在该第二犠牲层(112)上，其中该第一功能层(121)包含该基础(140)，且其中该第二功能层(122)包含该微机械感测器(150)(151)(152)，且一配线层(160)设在该第一功能层(121)与第二犠牲层(112)之间。 |
