主权项 |
一种基于旋转平移绝对检测的干涉仪出射波前检测方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:步骤一:定义光轴方向为Z轴,垂直光轴方向为XY平面,在球面干涉仪的波前焦点位置放置平面反射镜垂直于Z轴形成猫眼位置;或者在平面干涉仪,被测面位置放置角反射镜垂直于Z轴形成猫眼位置测量;步骤二:待干涉仪的各部分工作环境稳定之后,通过观察干涉条纹调整平面反射镜绕着X、Y的倾斜或者角反射镜在X,Y方向的平移使得干涉图尽量充满整个CCD;对于球面干涉仪测量猫眼位置的Power项,调整平面反射镜的Z向位置使得Power项小于2个条纹;步骤三:猫眼的测量值为干涉仪透射波前与之旋转180度的差值,而旋转中心记为猫眼数据的中心;通过寻找圆形干涉图中心的方法来确定旋转中心;或者通过尖状物分别在X方向和Y方向遮挡干涉图,然后通过尖状物的成像位置来确定旋转中心;步骤四:利用干涉仪的面形测量软件测量猫眼位置数据W<sub>0</sub>;不考虑参考面面形误差的前提下,W<sub>0</sub>为干涉仪透射波前W<sub>g</sub>和W<sub>g</sub>旋转180度W<sub>g</sub>’间的差值;W<sub>0</sub>=W<sub>g</sub>‑W<sub>g</sub>’=2×(W<sub>g</sub>‑W<sub>s</sub>),其中W<sub>s</sub>为旋转180度不变项,包括旋转对称项和角频为2θ的项,旋转中心为(c<sub>x</sub>,c<sub>y</sub>);步骤五:调整平面反射镜绕着Y轴的倾斜或者角反射镜在X方向的平移,假设测得反射镜的倾斜量为t<sub>x1</sub>或者角反射镜的平移量为t<sub>rx1</sub>,然后再次测量猫眼位置数据W<sub>1</sub>;W<sub>1</sub>=W<sub>g</sub>‑W<sub>g</sub>’(dx,0),其中(dx,0)表示数据在CCD上平移dx个像素,而dx≈t<sub>x1</sub>×F<sub>#</sub>×PD,或者dx=2×t<sub>rx1</sub>/PR,其中F<sub>#</sub>为球面标准镜的F数,PD为标准镜全口径占CCD的像素数,PR为平面干涉仪的每个像素代表的实际长度;步骤六:调整平面反射镜绕着X轴的倾斜或者角反射镜在Y方向的平移,假设测的反射镜的倾斜量为t<sub>y1</sub>或者角反射镜的平移量为t<sub>ry1</sub>,然后再次测量猫眼位置数据W<sub>2</sub>;W<sub>2</sub>=W<sub>g</sub>‑W<sub>g</sub>’(0,dy),而dy≈t<sub>y1</sub>×F<sub>#</sub>×PD,或者dy=2×t<sub>ry1</sub>/PR;步骤七:利用W<sub>0</sub>,W<sub>1</sub>,W<sub>2</sub>三个数据和dx,dy,通过旋转平移剪切绝对检测技术用计算机编制软件计算出透射波前W<sub>g</sub>。 |