一种CdTe薄膜电池的热处理方法

摘要

本发明公开了一种专用于CdTe薄膜电池的热处理装置及热处理方法，该热处理装置，包括：石墨舟和石英支架。所述的石英支架是一个长方形框架，长方形框架从前向后分为三个区域，第一区域为样品除湿区域，第二区域为样品热处理区域，第三区域为样品降温区域。石英支架贯通石墨舟中移动，使样品分别在三个区域中完成除湿，热处理，降温。免除了CdTe薄膜和CdCl2源片吸附水分对退火薄膜质量的影响，避免CdCl2残留物污染及CdTe薄膜表面氧化，省去了随后的清洗工序及由此引起的CdTe薄膜太阳能电池转换效率的衰减。

主权项

一种CdTe薄膜电池的热处理方法，该方法采用一个由石英支架(2)和石墨舟体(1)构成的专用装置进行热处理，其特征在于步骤如下：§A将待热处理样品(7)表面朝下搁置在石墨舟体的L型的止口(103)上，将CdCl₂源片(8)源面朝上放在石英支架的样品热处理区域(4)的两内横条(203)内侧上，然后将石英支架(2)推入石墨舟体的长方形窗口(104)内，并使石英支架的样品除湿区域(3)在石墨舟体的待热处理样品下面，石墨舟两侧面的长方形窗口敞开，保持畅通，安装好后将其放入热处理炉内；§B对热处理炉抽真空，而后持续通入干燥空气或Ar:O₂＝4:1混合气体，维持在0.75atm～1atm，快速升温到100℃～150℃，保温5～10分钟；§C然后将石英支架的样品热处理区域(4)推入石墨舟体的待热处理样品下面，并使堵块(6)正好分别堵住石墨舟体左右两侧面的长方形窗口(104)，气体通过堵块上的通气孔(601)在石墨舟体内流通，退火温度380℃～450℃，保温30～40分钟，完成高温热处理；§D待炉内温度降低到350℃以下时，将石英支架的样品降温区域(5)推入石墨舟体的热处理样品下面，并使堵块正好分别堵住石墨舟体左右两侧面的长方形窗口(104)，停止通入气体，机械泵抽真空，在低真空下完成降温过程，降到室温，取出样品。