Verfahren zur Ermittlung einer Schichtdicke

摘要

Bei einem Verfahren zur Ermittlung einer Schichtdicke einer flächig auf einem Substrat (7) aufgetragenen dünnen Schicht (6), wobei die Schicht (6) beleuchtet wird, das von Grenzflächen (9, 10) der Schicht (6) reflektierte Licht gemessen und anhand der Messwerte des reflektierten Lichts die Schichtdicke ermittelt wird, wird mit einer optischen Bilderfassungseinrichtung eine flächengetreue Abbildung des reflektierten Lichts aufgenommen und ein über einen Wellenlängenbereich integrierter Intensitätswert des reflektierten Lichts mit einem theoretisch ermittelten Intensitätsreferenzwert verglichen, um die Schichtdicke der Schicht (6) zu ermitteln. Ein gemessener Kontrastwert wird als Differenz des gemessenen Intensitätswertes abzüglich eines gemessenen Intensitätsreferenzwertes ermittelt und mit einem theoretisch ermittelten Kontrastreferenzwert verglichen, der ebenfalls als Differenz des theoretisch ermittelten Intensitätsreferenzwertes abzüglich eines theoretisch ermittelten Referenzwertes ermittelt wird. Mehrere jeweils über verschiedene Wellenlängenbereiche integrierte Intensitätswerte können ermittelt und mit jeweils zugeordneten theoretisch berechneten Intensitätsreferenzwerten verglichen werden. Für mehrere räumlich beabstandete Bereiche der Schicht (6) wird die jeweilige Schichtdicke bestimmt.