工件台

摘要

本发明提出一种工件台，包括基座、安装底板、承片台、第一永磁体、第二永磁体、水平向电机和垂向电机。安装底板设置在基座上方。承片台悬浮于安装底板上方。多个第一永磁体分别在安装底板的上表面与承片台的下表面，提供相斥的磁力，形成一定的垂向磁浮间隙。多个第二永磁体分别在安装底板与承片台的侧面，提供相斥的磁力，形成一定的侧向磁浮间隙。多个水平向电机安装在安装底板与承片台上，提供承片台在X、Y、Rz向的微动。多个垂向电机安装在安装底板与承片台上，提供承片台在Rx、Ry、Z向的微动。本发明提出的工件台具有六自由度方向的高精度运动，控制系统设计简单。

主权项

一种工件台，其特征是，包括：基座；安装底板，设置在所述基座上方；承片台，悬浮于所述安装底板上方；以及多个第一永磁体，分别在所述安装底板的上表面与所述承片台的下表面，提供相斥的磁力；多个第二永磁体，分别在所述安装底板与所述承片台的侧面，提供相斥的磁力；多个水平向电机，安装在所述安装底板与所述承片台上，提供所述承片台在X、Y、Rz向的微动；以及多个垂向电机，安装在所述安装底板与所述承片台上，提供所述承片台在Rx、Ry、Z向的微动；所述多个第一永磁体使得承片台保持的磁浮间隙大于承片台在Z向微动的最大行程；所述多个第二永磁体使得承片台保持的磁浮间隙大于承片台在X、Y向微动的最大行程。