| 发明名称 |
微机电式电声换能器结构及其制造方法 |
| 摘要 |
一种微机电式电声换能器结构包括基底、振动膜、矽材料层及导电图案。基底包括微机电元件区。振动膜具有多个开口，且设置于微机电元件区内。其中，在振动膜与基底之间具有第一空腔。矽材料层设置于振动膜上并封住振动膜。导电图案设置于微机电元件区内的振动膜下方。 |
| 申请公布号 |
TWI469912 |
申请公布日期 |
2015.01.21 |
| 申请号 |
TW097136982 |
申请日期 |
2008.09.25 |
| 申请人 |
联华电子股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |
发明人 |
蓝邦强;王铭义;何礼轩;吴惠敏;陈敏;黄建欣 |
| 分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;H04R19/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
戴俊彦 新北市永和区福和路389号6楼之3 |
| 主权项 |
一种微机电式电声换能器结构，包括：一基底，包括一微机电元件区；一振动膜，具有多个开口，且设置于该微机电元件区内，其中在该振动膜与该基底之间具有一第一空腔；一矽材料层，设置于该振动膜上并封住该振动膜；以及一导电图案，设置于该微机电元件区内的该振动膜下方。 |
| 地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |
