制造薄膜太阳能电池材料的装置及方法;APPARATUS AND METHOD OF FORMING THIN FILM SOLAR CELL MATERIALS

摘要

本发明揭露一种薄膜太阳能电池材料的制造方法，包括在具有第一压力值的腔室内引入包括硒化氢的一第一惰性气体混合物，直到腔室内的压力及温度分别达到第二压力值及第一温度值，其中第二压力值为第一压力值的预定的百分比。将腔室内的温度增加至第二温度值，以进行硒化制程，使得腔室内的压力增加至第三压力值。将在硒化制程期间产生的残留气体从腔室内去除。在腔室内加入包括硫化氢的一第二惰性气体混合物，直到腔室内的压力达到第四压力值。将腔室内的温度增加至第三温度值，以进行硫化制程。在进行硫化制程之后，冷却腔室。