一种去除遮罩上有机或脏污的装置;APPARATUS FOR REMOVING ORGANIC COMPOUNDS OR STAINS FROM MASK

摘要

本发明揭示一种去除遮罩上有机或脏污的装置，其包括：槽体，所述槽体用于放置金属遮罩；夹具，所述夹具固定所述金属遮罩；其特征在于，所述装置还包括：喷洒机构，所述喷洒机构连接一药剂储存装置，所述喷洒机构将所述药剂储存装置中的药剂喷洒至所述金属遮罩对其进行清洗；所述槽体的底部设有一排液口，所述喷洒机构喷洒的药剂清洗所述金属遮罩后从所述排液口流出所述槽体。