发明名称 乾膜光阻脱模剂组成物及使用其之脱模方法;REMOVER COMPOSITION FOR DRYFILM RESIST AND REMOVING METHOD USING THE SAME
摘要 本发明系关于一种乾膜光阻脱膜剂组成物、以及一种使用它之脱膜方法。;根据本发明之乾膜光阻脱膜剂组成物系包括预定的混合比之氢氧化物系化合物、链状胺化合物、三唑化合物、及纯水(H2O);并具有:能够将乾膜光阻剂完全地去除、并且能够防止金属层之腐蚀、而且脱膜剂为可以再使用之长处。;According to the embodiments of the present invention, the dry film resist releasing agent composition includes a hydroxide compound, a chain amine compound, a triazole compound, and pure water (H2O) with a predetermined mixing ratio. Moreover, the present invention is provided with advantages of totally removing the dry film photoresist, presenting erosion of metal layers, and the releasing agent being reusable.
申请公布号 TW201502723 申请公布日期 2015.01.16
申请号 TW103122788 申请日期 2014.07.02
申请人 三星电机股份有限公司 发明人 曹恩仁;吴龙洙;李秀兴;孙命赞;池营植;李胎坤;李庚相;郑世桓;金柄郁;尹锡壹;郑宗铉;许舜范;黄锺源
分类号 G03F7/42(2006.01);C11D7/26(2006.01);C11D7/32(2006.01) 主分类号 G03F7/42(2006.01)
代理机构 代理人 祁明辉林素华
主权项
地址 南韩