测量晶圆温度的工具;WAFER TEMPERATURE MEASUREMENT TOOL

摘要

一种用于测量半导体晶圆之表面温度的晶圆温度测量工具。该工具能被使用于测量该晶圆的不同零件上之温度，以提供高解析度的温度分布图。该工具包含一可滑动地设置在工具本体内的内部校准砝码。温度感测器被附着至该砝码之底部。陶瓷支座被附着至该工具本体的底部。重力下拉在该砝码上，使得当该工具本体之陶瓷支座被放置在该晶圆上时，该温度感测器接触该晶圆。