含括具有主体层及磊晶层之基体的流体喷出装置;FLUID EJECTION APPARATUSES INCLUDING A SUBSTRATE WITH A BULK LAYER AND AN EPITAXIAL LAYER

摘要

描述流体喷出装置及用以制造流体喷出装置之方法之实施例。一种方法实施例可包括在一基体之一本体层内形成一流体进给槽，在该基体之至少一磊晶层形成多个墨水进给槽道，该等墨水进给槽道各自系流体耦接至该流体进给槽，及于该基体上方形成多个液滴生成器，使得该基体之磊晶层系在该等多个液滴生成器与该本体层间，及使得该等液滴生成器各自系藉该等墨水进给槽道中之至少一者而流体耦接至该流体进给槽。