| 摘要 |
本発明は、複合膜をなす薄膜を製造する方法に係り、薄膜を積層していくときに表面状態を改善する薄膜の製造方法に関する。本発明の実施形態は、基板の上に異なる薄膜を製造する方法において、第１薄膜を蒸着するステップと、第２薄膜を蒸着するステップと、前記第１薄膜と第２薄膜を蒸着した後に、前記薄膜の表面に高周波数電力を印加して薄膜表面の不純物を除去するステップと、を含み、前記第１薄膜の表面に第２薄膜を蒸着する前に、熱化学気相蒸着（Thermal−ＣＶＤ）により第１薄膜の表面にバッファ膜を形成して表面エネルギーを低減する。 |
