X射线产生装置及X射线产生方法

摘要

本发明的X射线产生装置(1)具备：电子枪部(3)，其射出电子束(EB)；靶部(T)，具有由钻石所构成的基板(21)、及由通过电子束(EB)的入射而产生X射线(XR)的材料所构成且紧贴地埋设于基板(21)的靶体(23)。靶体(23)的外径是0.05～1μm的范围。电子束(EB)的靶部(T)上的照射域的外径为靶体(23)的外径的1.1～2.5倍的范围。X射线产生装置(1)以靶体(23)包含于照射域的方式将电子束(EB)照射于靶体(23)，由此从靶体(23)产生X射线(XR)。由此，通过电子束入射于靶部中的靶体以外的部分而产生的X射线成分被抑制为对空间分辨率不产生影响的程度，因此，能够提供抑制了空间分辨率的降低的X射线产生装置。

主权项

一种X射线产生装置，其特征在于，具备：电子枪部，其射出电子束；靶部，其具有由钻石所构成的基板、及由通过所述电子束的入射而产生X射线的材料所构成且紧贴地埋设于所述基板的靶体，所述靶体的外径为0.05～1μm的范围，所述电子束在所述靶部上的照射域的外径为所述靶体的外径的1.1～2.5倍的范围，以所述靶体包含于所述照射域的方式将所述电子束照射于所述靶体，从而从所述靶体产生X射线。