一种气体保护镜头

摘要

本发明公开了一种气体保护镜头，包括镜筒、保护罩、气接头、气嘴等。镜筒内设置镜片、隔圈，是曝光设备的核心部件。增加的保护罩，保护了镜筒内部镜片的洁净。流出的气体有效带走镜筒的发热，对镜筒的热学变形起到保护。气嘴吹出的洁净空气也可以吹走曝光区域的灰尘带走，保证了曝光时曝光区域的洁净度。大大的提高了曝光的良率。本发明结构简单，加工和安装非常方便。有效的解决了曝光时曝光区域的除尘，镜筒的散热等问题。

主权项

一种气体保护镜头，其特征在于：包括有中空筒状的保护罩，保护罩圆形顶端、圆形底端中心分别设置有中心通孔，保护罩内共中心轴设置有镜筒，镜筒的顶部、底部分别对应安装在保护罩圆形顶端、圆形底端中心通孔中，且镜筒顶部、底部外壁分别与保护罩圆形顶端、圆形底端中心通孔内壁密封配合，所述保护罩上部侧壁设置有与保护罩内连通的气接头，保护罩圆形底端设置有多个与保护罩内连通的气嘴，保护罩与镜筒之间充有气体。