用于光学检测的照明系统及使用其的检测系统、检测方法

摘要

本案公开了一种用于光学检测的照明系统及使用该照明系统的检测系统、检测方法，通过正向投射到检测区的第一照明光线及斜向投射到检测区的两道第二照明光线，以及相对于检测区来说具有最大入射角的两道第三照明光线来一起照射检测区，第三照明光线包含波长短于第一照明光线及第二照明光线的波长段，再通过彩色线性扫描相机对不同光谱的光学影像数据进行输出以供缺陷的侦测，以将取得的混合影像分别对各光谱色频分割，用以分辨电路板上的氧化与灰尘，第三照明光线进一步可加强光学影像中缺陷的辨别能力，进而降低检测系统在检查时的误判机率。

主权项

一种用于光学检测的照明系统，对一检测区提供照明光线，包含：第一光源组，产生自该检测区上方正向投射至该检测区的第一照明光线；第二光源组，用以产生两道第二照明光线，该两道第二照明光线分别产生自该检测区上方且斜向投射至该检测区；及第三光源组，用以产生两道第三照明光线，该两道第三照明光线分别产生自该检测区上方斜向投射至该检测区，其特征在于，该第三照明光线入射至该检测区的入射角大于该第二照明光线的入射角，该第三照明光线包含波长短于该第一照明光线及该第二照明光线的波长段。