基于MEMS的电容传感器

摘要

一种装置包括包含加速度计的地震采集系统。所述加速度计包括基于MEMS的电容传感器、控制器和电荷放大器。所述传感器包括检测质量、接收第一信号的输入端、以及与检测质量电连接以提供第二信号的输出端。由控制器调控的第一信号控制用于传感器的平衡恢复力并且使传感器提供第二信号。所述电荷放大器提供指示检测质量的位置的第三信号。电荷放大器具有在第一信号控制平衡恢复力并且使传感器提供第二信号期间内连续接收第二信号的输入端。

主权项

一种装置，包括：地震采集系统，其包括加速度计，其中所述加速度计包括：基于MEMS的电容传感器，包括检测质量、接收第一信号的输入端以及与所述检测质量电连接以提供第二信号的输出端，其中所述第一信号产生平衡恢复力以将所述检测质量恢复到其平衡位置并且使所述传感器提供所述第二信号；以及提供指示所述检测质量的位置的第三信号的电荷放大器，所述电荷放大器具有在所述第一信号控制所述平衡恢复力并且使所述传感器提供所述第二信号的期间内连续接收所述第二信号的输入端。