| 摘要 |
本发明系有关一种以像散法检测倾角与锁零的方法及装置，主要是将光源以绕射元件分成空间对称的若干绕射光束与非绕射光束，使穿透分光镜的直流非绕射光束(0阶光，光轴方向)用于共轭锁焦的工作，亦即该非绕射光束经分光镜及物镜后而射向反射体表面，经该反射体反射后循原路径穿过分光镜至检测器，再由致动器使该反射体上之反射点与该检测器的检测面共轭，而该对称于X轴与Y轴(垂直于光轴)的＋／–1阶绕射光束经反射体反射后投射在分别分布在X轴与Y轴上的两对检测器上，根据该两对检测器的差动信号判别该反射体的倾斜角度，藉以达到精准量测之目的。 |
