发明名称 一种水浴叠层制备太阳能电池吸收层材料CZTS/CZTSSe的方法
摘要 本发明涉及一种水浴叠层制备太阳能电池吸收层材料CZTS/CZTSSe的方法,属于太阳能电池材料与器件技术领域。本发明涉及两个具体步骤:步骤一,完全使用化学水浴法沉积含有含锌和锡的硫化物以及金属铜的叠层薄膜结构的前驱体薄膜;步骤二,将前驱体薄膜在硫或硒气氛中以一定的工艺制备得到CZTS或CZTSSe吸收层薄膜。本发明实现了只使用化学水浴法制备有含锌和锡的硫化物以及金属铜的叠层薄膜结构的前驱体薄膜,具有明显的优点:制备工艺简单易控、所需设备简单不复杂、薄膜成分和厚度易控、可大面积制备以及原材料丰富可得,在低成本薄膜太阳能电池制备领域具有巨大应用前景。
申请公布号 CN104269460A 申请公布日期 2015.01.07
申请号 CN201410490373.1 申请日期 2014.09.23
申请人 中国科学技术大学 发明人 李建民;刘伟丰;江国顺;朱长飞
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 王旭
主权项 一种水浴叠层制备太阳能电池吸收层材料CZTS/CZTSSe的方法,所述方法包括以下步骤:步骤一:选择衬底,对衬底表面进行清洗获得清洁衬底并配置沉积液,所述沉积液为:沉积SnS薄膜所需沉积液、沉积Cu薄膜所需沉积液以及沉积ZnS薄膜沉积液;步骤二:在步骤一所述清洁衬底上以任意顺序连续沉积SnS、Cu、ZnS三层薄膜,并用氮气吹干,真空保存;步骤三:将在步骤二得到的含有SnS、Cu、ZnS薄膜的叠层薄膜,在硫或者硒气氛下进行热处理,最终得到CZTS或者CZTSSe吸收层薄膜。
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