一种超精机上的多区域振荡机构

摘要

本发明公开了一种超精机上的多区域振荡机构，该振荡机构包括若干个位于同一平面内的振荡区域构成，每个振荡区域均包括振荡板和驱动振荡板做往复运动的驱动机构，在振荡板的正面上安装有若干超精头，振荡板的背面通过连接装置与驱动机构连接。本发明将传统超精机上的一个整体振荡机构设计为由多个振荡区域组成的多区域振荡机构，使得工件在超精过程中的粗超、细超、精超及上光阶段可以分别处于相应的振荡区域，这样通过分别调整各个振荡区域内的振荡幅度、频率，从而使工件在不同加工阶段可以实现不同加工精度的要求，进而使得加工后的工件达到更好的外观、更高的精度。

主权项

一种超精机上的多区域振荡机构，其特征是：该振荡机构包括若干个位于同一平面内的振荡区域构成，每个振荡区域均包括振荡板和驱动振荡板做往复运动的驱动机构，在振荡板的正面上安装有若干超精头，振荡板的背面通过连接装置与驱动机构连接。