在微波频率时基板之电磁波处理用处理系统;PROCESSING SYSTEM FOR ELECTROMAGNETIC WAVE TREATMENT OF A SUBSTRATE AT MICROWAVE FREQUENCIES

摘要

揭露一种处理系统，其包含用以容纳一基板以使该基板表面暴露至电磁(EM)行进波的一处理室。该处理系统亦包含用以发射该电磁行进波进入该处理室以使该电磁行进波沿着实质上平行于该基板之一表面之一方向传播的一电磁波传输天线。该处理系统亦包含用以将电磁能量供给至该电磁波传输天线中以在该基板之处理期间产生指定的输出功率及指定的EM波模式下之该电磁行进波的一功率耦合系统。该处理系统亦包含用以在该电磁行进波传播通过该处理室后吸收该电磁行进波的一电磁波接收天线。