真空吸引装置

摘要

一种真空吸引装置，包括：一基座及数个模组化吸抓器。基座具有基座管路，基座管路包含气体输入管路及数个气体输出管路，气体输入管路的下游延伸出一共输入管路，共输入管路与所述数个气体输出管路之间还分别连通有一负压产生元件，负压产生元件的一侧部还延伸出一分支管路。所述数个模组化吸抓器个包含有设置于一主板体的至少一吸附组件，吸附组件可连通于分支管路，其中所述模组化吸抓器彼此间隔一间隙且相互平行地设置于基座的底部。本创作藉由依序流经气体输入管路、共输入管路、负压产生元件及气体输出管路的流动气体，让负压产生元件可有效率地相对于分支管路产生负压，从而使吸附组件产生能吸附基材的真空吸力，并减少本创作运作时所需能源成本。

主权项

一种真空吸引装置，其用以组装于一机械手臂，从而在一制程机台与一载具之间传送数片基材，该真空吸引装置包括：一基座，该基座具有一基座管路，该基座管路包含有一气体输入管路及数个气体输出管路，其中该气体输入管路的上游连通至一气体供应源，该气体输入管路的下游还延伸出一共输入管路，该共输入管路与该数个气体输出管路之间还分别连通有一负压产生元件，该负压产生元件的一侧部还延伸出一分支管路；以及数个模组化吸抓器，该数个模组化吸抓器各包含有一主板体及设置于该主板体的至少一吸附组件，该吸附组件延伸至该主板体的一安装端部，并连通于该分支管路，其中，该数个模组化吸抓器彼此间隔一间隙且相互平行地设置于该基座的底部；该气体供应源输送一依序流经该气体输入管路、该共输入管路、该负压产生元件及该气体输出管路的流动气体，使该负压产生元件相对于该分支管路产生一负压，从而使该吸附组件产生用以吸附该基材的真空吸力。