离子束测定装置及离子束测定方法

摘要

以简单的构成测定两个方向的射束角度。一种离子束测定装置(100，其)具备：遮罩(102)，系用以把原本的离子束(B)整形成：具备在与离子束行进方向垂直的y方向有较长的y射束部分及在与前述行进方向及y方向垂直的x方向有较长的x射束部分之测定用离子束(Bm)；检测部(104)，其构成为：检测y射束部分的x方向位置，并检测x射束部分的y方向位置；及射束角度运算部(108)，构成为：利用x方向位置运算x方向射束角度，并利用y方向位置运算y方向射束角度。