| 摘要 |
Die Erfindung betrifft einen Flächenheizer der aus einer Vielzahl von Heizsegmenten zusammengesetzt ist, der für eine Strahlungsheizung einer thermischen Prozessanlage vorgesehen ist und der gegenüber einer Transportebene für durch eine Anlagenkammer der Prozessanlage in einer Transportrichtung entlang eines Transportweges zu transportierende großflächige Substrate. Mit der Erfindung soll ein Flächenheizer mit einer Vielzahl von Heizsegmenten für eine Strahlungsheizung einer thermischen Prozessanlage geschaffen werden, mit dem eine gute Homogenisierung der Wärmeverteilung auch bei Ausfall einzelner Heizsegmente erreicht wird und der es erlaubt, die über die Fläche verteilte Strahlungsheizung gezielt zu steuern, um insgesamt eine Homogenisierung der Wärmeverteilung zu erreichen. Erreicht wird das dadurch, dass die Heizsegmente (3) quer zur Transportrichtung ausgerichtet und in Zeilen hintereinander angeordnet sind, derart, dass jeweils mehrere Heizsegmente (3) in einer Reihe längs nebeneinander eine Heizergruppe (7) bilden und dass jedes Heizsegment (3) mit einer elektrischen Energiequelle verbunden ist. |
