基板输送方法、基板输送装置和涂敷显影装置

摘要

本发明提供能够对基板从基板输送装置的吸附机构所使用的衬垫偏移进行检测的基板输送方法。在该基板输送方法中，通过保持部接收多个载置部中的一个载置部的基板并对该基板进行保持，将保持于保持部的基板从一个载置部搬出，对保持于保持部的基板的相对于保持部的位置(第一位置)进行检测，将保持于保持部的基板输送至与其它的载置部面对的位置，在该位置，对保持于保持部的基板的相对于保持部的位置(第二位置)进行检测，基于第一位置和第二位置，计算出在输送前后产生的基板的相对于保持部的位置偏移量，判定所计算出的位置偏移量是否进入规定的范围。

主权项

一种基板输送方法，其为基板处理装置的基板输送方法，所述基板处理装置包括：具有通过真空吸附保持基板的保持部并且对所保持的基板进行输送的基板输送装置；和载置由该基板输送装置输送的所述基板的多个载置部，所述基板输送方法的特征在于，包括：通过所述保持部接收所述多个载置部中的一个载置部的所述基板，并通过真空吸附对所述基板进行保持的步骤；所述保持部以保持有所述基板的状态从所述一个载置部退出的步骤；对保持于所述保持部的所述基板的相对于所述保持部的位置进行检测的第一位置检测步骤；将保持于所述保持部的所述基板输送至与其它的载置部面对的位置的步骤；在所述面对的位置，对被保持于所述保持部的所述基板的相对于所述保持部的位置进行检测的第二位置检测步骤；根据在所述第一位置检测步骤和所述第二位置检测步骤所获得的被保持于所述保持部的所述基板的相对于所述保持部的位置，对在所述输送的步骤中产生的、所述基板的相对于所述保持部的位置偏移进行计算的步骤；和判定在所述计算的步骤中计算出的所述位置偏移是否进入规定的范围的步骤。