发明名称 Lasergestützte Plasmalichtquelle mit elektrisch induzierter Gasströmung
摘要 Eine lasergestützte Plasmalichtquelle umfasst einen Plasmakolben, welcher eine Strömung eines Arbeitsgases enthält, welche durch einen innerhalb des Plasmakolbens aufrechterhaltenen elektrischen Strom getrieben wird. Geladene Teilchen werden in das Arbeitsgas des Plasmakolbens eingeführt. Eine Anordnung von Elektroden, welche auf unterschiedlichen Spannungsniveaus gehalten werden, treibt die geladenen Teilchen durch das Arbeitsgas. Die Bewegung der geladenen Teilchen innerhalb des Arbeitsgases lässt das Arbeitsgas durch Mitführung in die Bewegungsrichtung der geladenen Teilchen strömen. Die resultierende Strömung des Arbeitsgases verstärkt die Konvektion um das Plasma und erhöht die Wechselwirkung zwischen dem Laser und dem Plasma. Die Strömung des Arbeitsgases innerhalb des Plasmakolbens kann stabilisiert und gesteuert werden durch Steuerung der an jeder der Elektroden herrschenden Spannung. Eine stabilere Strömung des Arbeitsgases durch das Plasma trägt zu einer stabileren Form und Position des Plasmas innerhalb des Plasmakolbens bei.
申请公布号 DE112013001634(T5) 申请公布日期 2014.12.31
申请号 DE20131101634T 申请日期 2013.06.26
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 SHCHEMELININ, ANATOLY;BEZEL, ILYA V.
分类号 H01J65/04 主分类号 H01J65/04
代理机构 代理人
主权项
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