发明名称 |
芯片封装结构 |
摘要 |
本发明公开了一种芯片封装结构,在芯片的非感光区与感光区之间增加一道阻隔,阻隔将芯片空腔区域从中间隔开,成为2个单独的小空腔,芯片的非感光区和感光区分别置于其中的一个小空腔内。芯片切割后在氧化层的边缘部位增加阻焊层,使氧化层包裹在阻焊层内,然后进行终切割,阻焊层自芯片衬底的边缘向内缩进9至11um。在环境变化时由于单个空腔面积减小,芯片内部压力减小,增加了产品后续应用的可靠性。 |
申请公布号 |
CN104241221A |
申请公布日期 |
2014.12.24 |
申请号 |
CN201410509382.0 |
申请日期 |
2014.09.28 |
申请人 |
北京思比科微电子技术股份有限公司 |
发明人 |
史永军;冯建中 |
分类号 |
H01L23/31(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/31(2006.01)I |
代理机构 |
北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 |
代理人 |
郑立明;赵镇勇 |
主权项 |
一种芯片封装结构,其特征在于,在芯片的非感光区与感光区之间增加一道阻隔,所述阻隔将芯片空腔区域从中间隔开,成为2个单独的小空腔,所述芯片的非感光区和感光区分别置于其中的一个小空腔内。 |
地址 |
100085 北京市海淀区上地五街7号昊海大厦二层201室 |