发明名称 | 局域表面等离子体和波导模式耦合的结构 | ||
摘要 | 本发明提供一种局域表面等离子体和波导模式耦合的结构,包括:一衬底;一波导层,该波导层制作在衬底上;一Au粒子层,该Au粒子层制作在波导层上。本发明可以有效的降低共振谱线的半高宽,从而提高传感器的品质因子(FOM)。 | ||
申请公布号 | CN103267742B | 申请公布日期 | 2014.12.24 |
申请号 | CN201310136485.2 | 申请日期 | 2013.04.19 |
申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 宋国峰;张祖银;徐云;胡海峰;王立娜;马勋鹏;李康文 |
分类号 | G01N21/41(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/41(2006.01)I |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 汤保平 |
主权项 | 一种局域表面等离子体和波导模式耦合的结构,包括:一衬底;一波导层,该波导层制作在衬底上;一Au粒子层,该Au粒子层制作在波导层上;其中Au粒子层为阵列式非对称的嵌套结构,阵列式中的每个单元是两个Au纳米柱从圆心处并列嵌套结构,其横断面为双环结构。 | ||
地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |