发明名称 局域表面等离子体和波导模式耦合的结构
摘要 本发明提供一种局域表面等离子体和波导模式耦合的结构,包括:一衬底;一波导层,该波导层制作在衬底上;一Au粒子层,该Au粒子层制作在波导层上。本发明可以有效的降低共振谱线的半高宽,从而提高传感器的品质因子(FOM)。
申请公布号 CN103267742B 申请公布日期 2014.12.24
申请号 CN201310136485.2 申请日期 2013.04.19
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 宋国峰;张祖银;徐云;胡海峰;王立娜;马勋鹏;李康文
分类号 G01N21/41(2006.01)I 主分类号 G01N21/41(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汤保平
主权项 一种局域表面等离子体和波导模式耦合的结构,包括:一衬底;一波导层,该波导层制作在衬底上;一Au粒子层,该Au粒子层制作在波导层上;其中Au粒子层为阵列式非对称的嵌套结构,阵列式中的每个单元是两个Au纳米柱从圆心处并列嵌套结构,其横断面为双环结构。
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