用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置与清洗方法

摘要

本发明提供一种用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置，属于清洗光学元件表面污染的技术领域。解决现有的氢原子收集方法收集率低的问题。该装置包括：氢原子发生器、石英椭球镜收集腔、加热带和样品夹，所述的氢原子发生器与石英椭球镜收集腔的一端连接，且氢原子发生器的出气口设置于石英椭球镜收集腔的一个焦点处，样品夹设置在样品夹支架上，样品夹支架与石英椭球镜收集腔的另一端连接，且样品夹中心位置设置于石英椭球镜收集腔的另外一个焦点处，所述的加热带设置在石英椭球镜收集腔的外表面。本发明还提供基于上述装置清洗受污染光学元件的方法，该方法氢原子收集效率高、清洗速率快。

主权项

用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置，其特征在于，该装置包括：氢原子发生器(1)、石英椭球镜收集腔(2)、加热带(3)和样品夹(4)，所述的氢原子发生器(1)与石英椭球镜收集腔(2)的一端连接，且氢原子发生器(1)的出气口设置于石英椭球镜收集腔(2)的一个焦点处，样品夹(4)中心位置设置于石英椭球镜收集腔(2)的另外一个焦点处，所述的加热带(3)设置在石英椭球镜收集腔(2)的外表面。