Ladungsteilchenstrahlgerät, Probenobservationssystem und Betriebsprogramm

摘要

Damit ein unerfahrener Benutzer leicht einen Unterschied zwischen Bildgebungsergebnissen, die auf einen Unterschied zwischen Observationsbedingungen zurückgehen, erkennen kann, lässt ein Computer einen Betriebsschirm (200) Observationsziel-Einstellschaltflächen (E141) zum Ändern einer Observationsbedingung für eine Probe anzeigen, die eine Kombination von Parametereinstellwerten eines Ladungsteilchenstrahlgeräts enthalten. Die Verarbeitungseinheit lässt den Betriebsschirm (200) eine Radarkarte (E144) anzeigen, die eine Charakteristik, angegeben durch drei oder mehr inkompatible Elemente, einer Observationsbedingung für jede der Observationsziel-Einstellschaltflächen (E141) enthält. Die Radarkarte (E144) gibt zumindest Elemente von hoher Auflösung, Betonung auf Oberflächenstruktur und Betonung auf Materialunterschied an.