静电夹盘之部分

摘要

【物品用途】;本创作系关于一种半导体晶圆处理组件，特别是静电夹盘。;【设计说明】;后视图与前视图相同，故省略后视图。右侧视图与左侧视图相同，故省略右侧视图。局部放大图，系图示本创作之静电夹盘的上表面之部分。;图式中虚线表示之部分为本案设计不主张之部分。