发明名称 Halbleiter-Leistungsschalter und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiter-Leistungsschalters
摘要 <p>Die Erfindung betrifft einen Halbleiter-Leistungsschalter (100) mit einem Trägersubstrat (110) und einer auf dem Trägersubstrat (110) aufgebrachte erste Halbleiterschicht (130) aus einem ersten Halbleitermaterial. Weiterhin umfasst der Halbleiter-Leistungsschalter (100) eine auf der ersten Halbleiterschicht (130) aufgebrachte zweite Halbleiterschicht (135) aus einem zweiten Halbleitermaterial, wobei der Bandabstand des ersten Halbleitermaterials sich vom Bandabstand des zweiten Halbleitermaterials unterscheidet. Auch umfasst der Halbleiter-Leistungsschalter (100) einen Drainanschluss (145) und einen Sourceanschluss (150), die zumindest in der zweiten Halbleiterschicht (135) eingebettet sind, wobei mittels des Drainanschlusses (145) und des Sourceanschlusses (150) zumindest eine Grenzschicht (140) zwischen dem ersten und zweiten Halbleitermaterial elektrisch kontaktierbar ist. Ferner umfasst der Halbleiter-Leistungsschalter (100) einen Kanalbereich (155) zwischen dem Drainanschluss (145) und dem Sourceanschluss (150), wobei der Kanalbereich (155) ausgebildet ist, um als elektrischer Leistungsschalter zu wirken. Schließlich umfasst der Halbleiter-Leistungsschalter (100) eine Gateanschluss (170), der zumindest teilweise den Kanalbereich (155) überdeckt.</p>
申请公布号 DE102013211360(A1) 申请公布日期 2014.12.18
申请号 DE201310211360 申请日期 2013.06.18
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 DAVES, WALTER
分类号 H01L29/778;H01L21/336 主分类号 H01L29/778
代理机构 代理人
主权项
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