リソグラフィ装置、デバイス製造方法およびコンピュータプログラム

摘要

【解決手段】本発明は、ターゲット上の複数の場所の位置および／または回転を参照して、その場所を照射するために使用される複数のビームの強度値を決定することに関する。関連するリソグラフィ装置または露光装置、関連するデバイス製造方法、および関連するコンピュータプログラムも提供される。【選択図】図８