| 摘要 |
本発明は、選択された水素濃度を有する不活性化ガスを含むように構成された曝露チャンバであって、チャンバ内部の不活性化ガスへの曝露のために少なくとも１つのＮＬＯ結晶を含むようにさらに構成された曝露チャンバと、曝露チャンバに流体的に接続される不活性化ガスソースであって、曝露チャンバの内部に不活性化ガスを供給するように構成された不活性化ガスソースと、チャンバ内部にＮＬＯ結晶を保持するように構成された基板であって、基板が選択された温度でまたは選択された温度近くでＮＬＯ結晶の温度を維持するようにさらに構成され、選択された温度がＮＬＯ結晶の融解温度以下である基板を含む。 |
