一种升降式蒸发机台对中快速测试机构及其测试方法

摘要

本发明公开了一种升降式蒸发机台对中快速测试机构及其测试方法，属于蒸发机台测试领域。一种升降式蒸发机台对中快速测试机构，包括测厚盖子、钟罩、三角架、固定三角架座、电子枪、透明胶版和发射点光源调节装置，测厚盖子位于钟罩顶部，测厚盖子内置有测试厚度的传感器探头，钟罩中部安装有固定三角架座，钟罩外部侧面设置有导向杆，导向杆底部与钟罩底部连接，导向杆上设置有定位夹；发射点光源调节装置设置于电子枪坩埚位置，发射点光源调节装置由点光源器和固定夹套组成；透明胶版设置于三角架上方或测厚盖子上方，透明胶版上设置有测厚盖子定位点标记和三角架定位点。它可以直观发现设备使用过程中产生的误差，避免测试点偏离中心线、准确性高、方便快捷。

主权项

一种升降式蒸发机台对中快速测试机构，包括测厚盖子(1)、钟罩(2)，其特征在于：还包括三角架(3)、固定三角架座(4)、电子枪(5)、透明胶版(14)和发射点光源调节装置，所述的测厚盖子(1)位于钟罩(2)顶部，测厚盖子(1)内置有测试厚度的传感器探头，所述的钟罩(2)中部安装有固定三角架座(4)，所述的三角架(3)安装于固定三角架座(4)顶部，三角架(3)中央有孔，钟罩(2)底部设置有电子枪(5)，电子枪(5)内放置有坩埚；所述的钟罩(2)外部侧面设置有导向杆(7)，所述的导向杆(7)底部与钟罩(2)底部连接，导向杆(7)上设置有定位夹(6)，定位夹(6)连接于钟罩(2)侧面；所述的发射点光源调节装置设置于电子枪(5)坩埚位置，发射点光源调节装置由点光源器(8)和固定夹套(9)组成；固定夹套(9)位于发射点光源调节装置中部，点光源器(8)固定在固定夹套(9)的上方，固定夹套(9)底部设置有三只均匀分布的地脚，其中两只为固定地脚(10)，一只为调节地脚(11)；所述的透明胶版(14)设置于三角架(3)上方或测厚盖子(1)上方，透明胶版(14)上设置有测厚盖子定位点标记(12)和三角架定位点(13)。