热闸门与晶体成长炉;HEAT GATE AND CRYSTAL GROWTH FURNACE

摘要

一种热闸门与晶体成长炉。此热闸门包含复数个绝热单元、复数个支撑单元以及复数个驱动单元。这些绝热单元沿一第一方向相邻排列。支撑单元分别对应连接这些绝热单元之一侧。驱动单元分别对应连接前述支撑单元，其中这些驱动单元分别透过前述支撑单元来独立控制绝热单元沿一第二方向的水平移动，第二方向不同于第一方向。