发明名称 成膜遮罩之制造方法;METHOD FOR MANUFACTURING DEPOSITION MASK
摘要 本发明系一种成膜遮罩之制造方法,该成膜遮罩之构造为将形成有复数开口图案之金属遮罩片4撑开固定于框状的金属框7而成,该成膜遮罩之制造方法系进行以下步骤:第一步骤:将金属遮罩片4的周缘部接着于被施有一定张力之合成纤维的网1;第二步骤:将对应于成膜有效区域之网1的部分切除,该成膜有效区域大小系内含有金属遮罩片4的复数开口图案之大小;第三步骤:将框7从与网1相反侧接合固定于金属遮罩片4的周缘部;第四步骤:将网1从金属遮罩片4除去。
申请公布号 TW201446986 申请公布日期 2014.12.16
申请号 TW103106023 申请日期 2014.02.24
申请人 V科技股份有限公司 发明人 斋藤雄二;工藤修二;小菅崇之;水村通伸
分类号 C23C14/04(2006.01) 主分类号 C23C14/04(2006.01)
代理机构 代理人 <name>阎启泰</name><name>林景郁</name>
主权项
地址 日本
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