发明名称 |
成膜遮罩之制造方法;METHOD FOR MANUFACTURING DEPOSITION MASK |
摘要 |
本发明系一种成膜遮罩之制造方法,该成膜遮罩之构造为将形成有复数开口图案之金属遮罩片4撑开固定于框状的金属框7而成,该成膜遮罩之制造方法系进行以下步骤:第一步骤:将金属遮罩片4的周缘部接着于被施有一定张力之合成纤维的网1;第二步骤:将对应于成膜有效区域之网1的部分切除,该成膜有效区域大小系内含有金属遮罩片4的复数开口图案之大小;第三步骤:将框7从与网1相反侧接合固定于金属遮罩片4的周缘部;第四步骤:将网1从金属遮罩片4除去。 |
申请公布号 |
TW201446986 |
申请公布日期 |
2014.12.16 |
申请号 |
TW103106023 |
申请日期 |
2014.02.24 |
申请人 |
V科技股份有限公司 |
发明人 |
斋藤雄二;工藤修二;小菅崇之;水村通伸 |
分类号 |
C23C14/04(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>阎启泰</name><name>林景郁</name> |
主权项 |
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地址 |
日本 |