载置台及电浆处理装置

摘要

本发明之课题在于提供一种可防止异常放电之载置台以及具备该载置台之电浆处理装置。一种载置台，构成为可施加电压，具备有：静电夹，系具有载置被处理体之载置面、以及对向于该载置面之内面，于载置面形成有第1贯通孔；基座，系接合于静电夹之内面，形成有和第1贯通孔相连通之第2贯通孔；升降销，被收容于第1贯通孔以及第2贯通孔内，以出没自如的方式于载置面上进行上下移动，将该被处理体支撑于载置面上；第1贯通孔之上端部呈现往下端部侧逐渐缩径之形状，升降销之上端部系以和第1贯通孔之上端部形状相对应的方式呈现往下端部侧逐渐缩径之形状，当升降销被收容于第1贯通孔以及第2贯通孔之时会和第1贯通孔之上端部做面接触。