用于小批次基板传送系统的温度控制系统与方法;TEMPERATURE CONTROL SYSTEMS AND METHODS FOR SMALL BATCH SUBSTRATE HANDLING SYSTEMS

摘要

本文提供基板传送系统之实施例，该基板传送系统能够加热及/或冷却移入及移出多个基板处理腔室的基板批次。本文亦提供基板传送之方法，以及提供许多其他态样。