| 摘要 |
<p>기판을 반송하는 기판 반송부와, 당해 기판 반송부에 의해 반송시키면서 상기 기판에 액상체를 도포하는 복수의 도포부를 구비하는 도포 장치로서, 상기 기판 반송부는, 기판 반송 방향의 일방의 단부에 상기 기판을 반입하는 기판 반입 영역을 갖고, 상기 기판 반송 방향의 타방의 단부에 상기 기판을 반출하는 기판 반출 영역을 갖고, 복수의 상기 도포부는, 적어도 인접하는 2 개의 도포부 사이의 거리가 상기 기판의 상기 기판 반송 방향의 치수보다 커지도록 상기 기판 반입 영역과 상기 기판 반출 영역 사이에 배치되어 있다.</p> |
