測定装置及び方法

摘要

測定システム（５）は、放射源（１０）及び検出システム（１５）を備え、放射源は、この放射源からの放射線が試料（２５）上に入射するように配置されている又は配置可能であり、検出システムは、試料を介して放射線の少なくとも一部分を受けるように構成されており、このシステムは、試料の少なくとも一部分を通過した後で、放射線が試料を通過する経路長及び／又は放射線が入射する少なくとも１つの表面の反射率を変えるように再構成可能である。試料の特性は、第１及び第２の測定値に少なくとも基いて決定され得る。