| 摘要 |
Die Erfindung betrifft einen Reflektor für einen EUV-Kollektor sowie Verfahren zu dessen Herstellung und Regenerierung. Kennzeichnend für einen erfindungsgemäßen Reflektor ist, dass eine Spiegelschale (2), die eine zur Reflexion von EUV-Strahlung geeignete optisch wirksame Oberfläche (2.1) und eine Montageoberfläche (2.2) aufweist, mittels eines durch mindestens einen Klebstoff (4) gebildeten Klebefilms (4.1) auf eine Trägeroberfläche (1.1) einer Trägerstruktur (1) aufgeklebt ist. Die Verfahren zur Herstellung und Regenerierung eines erfindungsgemäßen Reflektors betreffen die Schritte zur Herstellung einer Klebeverbindung zwischen der Trägeroberfläche (1.1) und der Montageoberfläche (2.2) sowie das Ersetzen einer auf der Trägerstruktur (1) vorhandenen Spiegelschale (2) durch Substitution oder Überdecken mit einer weiteren Spiegelschicht (3). |
