一种掺稀土光纤预制棒的制造方法

摘要

一种掺稀土光纤预制棒的制造方法，涉及光纤预制棒领域，包括如下步骤：S1.将柱形稀土材料预制靶棒安装在石英玻璃的衬底管内的进气端，再将所述衬底管安装在化学气相沉积设备上；S2.将激光聚焦于所述稀土材料预制靶棒，通入由氧气、氯气、四氯化硅气体、四氯化锗气体、以及氟的碳化物组成的混合气体，进行沉积形成光纤芯棒预制件；S3.将所述光纤芯棒预制件利用高温熔缩，形成透明的光纤预制棒。该方法增大光纤预制棒芯区直径，能够大幅度提高掺稀土光纤预制棒的生产制造效率、稀土离子掺杂均匀性，降低光纤预制棒无效杂质含量，同时降低生产成本，便于规模化生产的推广。

主权项

一种掺稀土光纤预制棒的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：S1.将柱形稀土材料预制靶棒安装在石英玻璃的衬底管内的进气端，再将所述衬底管安装在化学气相沉积设备上；S2.将激光聚焦于所述稀土材料预制靶棒，通入由氧气、氯气、四氯化硅气体、四氯化锗气体、以及氟的碳化物组成的混合气体，进行沉积形成光纤芯棒预制件；S3.将所述光纤芯棒预制件利用1900℃～2500℃高温熔化并熔缩，形成为实心的、透明的光纤预制棒；所述衬底管内径为15mm～51mm，稀土材料预制靶棒直径小于衬底管内径；化学气相沉积设备为等离子化学气相沉积设备或改进型化学气相沉积设备；所述稀土材料预制靶棒是用稀土材料无机化合物与共掺杂金属无机化合物混合，并压制为密度高于3.5g/cm³的柱形，其中稀土元素为镱、铒、铥、钕、铽、镝、钬、钐、铈、镨、钷中的一种或几种元素，共掺杂金属元素为铝元素；或者所述稀土材料预制靶棒是用稀土材料无机化合物与共掺杂金属无机化合物混合，并压制为密度高于3.5g/cm³的柱形，其中稀土材料无机化合物为铒的氯化物和/或镱的氯化物，共掺杂材料为三氯化铝。