液中誘電体バリア放電プラズマ装置および液体浄化システム

摘要

【課題】液体あるいは気体を、プラズマと接触させながら反応させる装置において、装置を小型、軽量、低消費電力化することのできる手段を提供する。【解決手段】貫通する細孔処理の施された電極と、該電極と対向し、気体導入口を有する支持体に支持された誘電体で被覆された電極とでプラズマ空間を形成し、プラズマの被反応物がプラズマ空間に侵入することなく、該貫通細孔中においてプラズマとプラズマ被反応物を接触反応させる。 また同時にプラズマで生じた活性種を非反応物中へ吐出、拡散させて化学反応を誘起する。【選択図】図１