光波导元件

摘要

本发明的目的在于提供一种光波导元件，其有效地使蓄积在基板内的电荷扩散，抑制了直流漂移和温度漂移。其具有：基板，具有电光效应；光波导，形成于该基板上；缓冲层(BF层)，形成于该基板上；以及调制电极(信号电极、接地电极)，形成于该缓冲层上，对在该光波导传播的光波进行调制，其特征在于，在该基板与该缓冲层之间形成使在该基板产生的电荷扩散的电荷扩散层，该电荷扩散层与构成该调制电极的接地电极电连接。

主权项

一种光波导元件，具有：基板，具有电光效应；光波导，形成于该基板上；缓冲层，形成于该基板上；以及调制电极，形成于该缓冲层上，对在该光波导传播的光波进行调制，其特征在于，在该基板与该缓冲层之间形成使在该基板产生的电荷扩散的电荷扩散层，该电荷扩散层与构成该调制电极的接地电极电连接。