发明名称 |
通过缓冲层调节控制LED外延片波长均匀性的方法 |
摘要 |
本申请公开了一种通过缓冲层调节控制LED外延片波长均匀性的方法,依次包括生长衬底,GaN缓冲层,非掺杂GaN层,N型GaN层,多量子阱层,P型AlGaN层,P型GaN层的步骤,其特征在于,通过调节生长时间来控制GaN缓冲层在衬底表面的沉积量,并配合分解和重结晶阶段GaN缓冲层的分解,来进行GaN缓冲层的生长;其中,所述GaN缓冲层的生长的厚度变化对应外延片中心区域与边缘的波长差。本发明通过控制LED外延缓冲层生长时间来实现控制产品波长均匀性的目的。 |
申请公布号 |
CN104201257A |
申请公布日期 |
2014.12.10 |
申请号 |
CN201410474419.0 |
申请日期 |
2014.09.17 |
申请人 |
湘能华磊光电股份有限公司 |
发明人 |
涂靓虎;吴际 |
分类号 |
H01L33/00(2010.01)I;H01L33/12(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/00(2010.01)I |
代理机构 |
北京爱普纳杰专利代理事务所(特殊普通合伙) 11419 |
代理人 |
何自刚 |
主权项 |
一种通过缓冲层调节控制LED外延片波长均匀性的方法,依次包括生长衬底,GaN缓冲层,非掺杂GaN层,N型GaN层,多量子阱层,P型AlGaN层,P型GaN层的步骤,其特征在于,通过调节生长时间来控制GaN缓冲层在衬底表面的沉积量,并配合分解和重结晶阶段GaN缓冲层的分解,来进行GaN缓冲层的生长;其中,所述GaN缓冲层的生长的厚度变化对应外延片中心区域与边缘的波长差。 |
地址 |
423038 湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区 |