发明名称 通过缓冲层调节控制LED外延片波长均匀性的方法
摘要 本申请公开了一种通过缓冲层调节控制LED外延片波长均匀性的方法,依次包括生长衬底,GaN缓冲层,非掺杂GaN层,N型GaN层,多量子阱层,P型AlGaN层,P型GaN层的步骤,其特征在于,通过调节生长时间来控制GaN缓冲层在衬底表面的沉积量,并配合分解和重结晶阶段GaN缓冲层的分解,来进行GaN缓冲层的生长;其中,所述GaN缓冲层的生长的厚度变化对应外延片中心区域与边缘的波长差。本发明通过控制LED外延缓冲层生长时间来实现控制产品波长均匀性的目的。
申请公布号 CN104201257A 申请公布日期 2014.12.10
申请号 CN201410474419.0 申请日期 2014.09.17
申请人 湘能华磊光电股份有限公司 发明人 涂靓虎;吴际
分类号 H01L33/00(2010.01)I;H01L33/12(2010.01)I 主分类号 H01L33/00(2010.01)I
代理机构 北京爱普纳杰专利代理事务所(特殊普通合伙) 11419 代理人 何自刚
主权项 一种通过缓冲层调节控制LED外延片波长均匀性的方法,依次包括生长衬底,GaN缓冲层,非掺杂GaN层,N型GaN层,多量子阱层,P型AlGaN层,P型GaN层的步骤,其特征在于,通过调节生长时间来控制GaN缓冲层在衬底表面的沉积量,并配合分解和重结晶阶段GaN缓冲层的分解,来进行GaN缓冲层的生长;其中,所述GaN缓冲层的生长的厚度变化对应外延片中心区域与边缘的波长差。
地址 423038 湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区
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