一种全自动检测泵失效的方法

摘要

本发明公开一种新的全自动检测泵失效的方法，其中，硅片是依次传送至工艺腔室中以进行制造过程，并且泵是用于为工艺腔室抽取一定的真空度，其特征在于，在上一片硅片在工艺腔室中结束制造后，下一片硅片还没有进入工艺腔室前，增加泵的底压检测的步骤，用于检测位于工艺周期中的泵的底压状态。本发明一种新的全自动检测泵失效的方法，通过在工艺程式结束前增加设定特定的条件步骤，用来自动检测泵的底压，有效地实现泵的全自动底压检测，并防止由于泵失效产生的颗粒导致的硅片报废。从而避免人工停机人工检测所带来的资源消耗与机时的浪费，同时也解决传统的检测方法的频率太低所带来的产能风险。

主权项

一种全自动检测泵失效的方法，其中，硅片是依次传送至工艺腔室中以进行制造过程，并且泵是用于为工艺腔室抽取一定的真空度，其特征在于，在上一片硅片在工艺腔室中结束制造后，下一片硅片还没有进入工艺腔室前，增加泵的底压检测的步骤，用于检测位于工艺周期中的泵的底压状态；其中，若对腔室测出的气压底压数值低于设定值，则检测泵的功效符合要求，使得其他的硅片进入工艺腔室以完成下一个工艺周期；若对腔室测出的气压底压数值高于或等于设定值，并在3秒钟内腔室测出的气压底压数值仍高于或等于设定值，则设置系统报警，并且自动跳过检测条件步骤，停止开始下一片硅片的制造过程。