| 摘要 |
<p>L'invention concerne les lentilles électrostatiques destinées à la focalisation d'un faisceau de particules chargées, et notamment d'un faisceau d'électrons. Ces lentilles sont utilisées notamment dans les canons à électrons de microscopes électroniques ou d'appareils de lithographie par faisceau d'électrons. Un but de l'invention est d'améliorer les possibilités de focalisation du faisceau de particules, et notamment d'un faisceau d'électrons émis par une cathode. La lentille comporte au moins une électrode conductrice (EL2) percée d'au moins une ouverture de passage d'un faisceau d'électrons. Des champs électriques différents sont établis en amont et en aval de l'ouverture. L'ouverture de passage est fermée au moins partiellement par une membrane mince (M) de matériau isolant ou semiconducteur transparent aux électrons, plane ou bombée. Une structuration de la membrane (trous ou surépaisseurs ou électrodes déposées sur la membrane) permet de corriger des défauts d'aberration de la lentille.</p> |
