大気圧化学蒸着法によるケイ素酸化物の蒸着

摘要

本発明は、基材を加熱し、２個を超える炭素原子を有するアルキル基を有するモノアルキルシランを含む少なくとも１種の前駆体を蒸発させて、蒸発させた前駆体のストリームを形成させ、そしてその加熱された基材の表面を、ほぼ大気圧で、蒸発させた前駆体のストリームと接触させて、その基材の表面の上にケイ素酸化物を含む１層又は複数の層を蒸着させることによる、基材例えばガラスの上にケイ素酸化物含有層を形成させるための方法を提供する。本発明は、オンラインのフロートガラスプロセスにおいて、ガラスに虹色抑制コーティングを適用するのに特に有用である。